长晶炉的主要功能就是方便且高效的制造出缺陷很少的蓝宝石晶体。蓝宝石(Sapphire)是一种氧化铝(Al2O3)的单晶,光学穿透带很宽,从近紫外光(190nm)到中红外线都具有很好的透光性。蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,强度高、硬度大、耐腐蚀,可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作,因而被广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石晶体成为实际应用的半导体GaN/Al2O3发光二极管(LED),大规模集成电路SOI和SOS及超导纳米结构薄膜等为理想的衬底材料。随着近年来LED TV、LED Monitor、LED NB、LED Phone及LED照明市场的持续高速增长,强劲推动了用于制作LED基材的蓝宝石市场的需求扩张。
YZJ-80蓝宝石长晶炉采用热交换法来生长晶体,热交换法就是熔液在坩埚内直径凝固,它于其他坩埚移动法的区别在于,坩埚不做任何方向的移动,晶体生长时,坩埚、晶体和加热区都不移动,这就消除了由于机械运动而产生的熔体涡流,控制热交换器的温度,是晶体生长在温度梯度场中进行,抑制了熔体的涡流和对流,可以消除固、液界面上温度和浓度的波动,以避免晶体造成过多的缺陷,生长出来的晶体被熔体所包围,这样就可以控制它的冷却速率,以减少晶体的热应力及由此产生的开裂和位错等缺陷。同时,也可以长出与坩埚形状和尺寸相仿的单晶。
我公司根据近几年来市场对大尺寸晶体需求不断增加的趋势,在国外技术的的基础上研制开发的一款蓝宝石长晶炉,拥有多项专利,专利号:ZL 201320040701.9,ZL 201330060000.7,ZL 201410317654.7,ZL201420373701.5,YZJ-80蓝宝石长晶炉使用的坩埚可以从13英寸~19英寸之间,装料量可以达到85~120KG,其原理是在真空炉的底部增加了一个钨钼材料制成的热交换器,内部有氦气循环流动,装有原料的坩埚在交换器的上面,籽晶安放在坩埚底部正中心,当坩埚内原料经加热熔化,而底部的籽晶由氦气保护不会熔化,当氦气流量不断加大,从而带走的热量也逐步增加,促使籽晶慢慢长大,完全凝固。
YZJ-80系列长晶炉由炉体、热场、真空系统、氦气系统、冷却水系统和自动控制系统几个部分组成,主要部件全部采用国际知名品牌,设备稳定性好,具有操作简单,维护方便等优点。
设备参数
单台设备 |
外形尺寸 |
3600*2350*3200 |
电源 |
主电源 |
AC380V~450V 三相加接地 需UPS稳压 |
UPS |
功率100KW 输出电压 ±1% |
功率 |
80KW |
满载电流 |
160A |
冷却水 |
质量 |
总硬度100~300mg/L(ppm) |
流量 |
55~75L/min |
进水压力 |
0.2Mp |
进水温度 |
20~30°C |
应急水 |
流量 |
小38L/min |
进水压力 |
0.2Mp |
压缩空气 |
质量 |
干燥 无油 |
压力 |
干燥 无油 |
用量 |
0.07M³/h |
氦气 |
质量 |
纯度9.9999% |
进气压力 |
0.82Mp |
流量 |
0.015L/min(工艺氦气) |
用量 |
8M³/每炉 |
排气 |
排气量 |
75M³/h |
压力 |
0.12Mp |
环境要求 |
温度 |
18~25°C |
相对湿度 |
65% |
噪音 |
75dB |
相关产品